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吉倉(cāng)產(chǎn)品
吉倉(cāng)低溫CVD石墨烯生長(zhǎng)系統(tǒng)

吉倉(cāng)低溫石墨烯生長(zhǎng)系統(tǒng)

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吉倉(cāng)納米科技有限公司根據(jù)多年生長(zhǎng)石墨烯膜的經(jīng)驗(yàn)研發(fā)出的低溫石墨烯生長(zhǎng)系統(tǒng),可實(shí)現(xiàn)500~800℃低溫生長(zhǎng)。吉倉(cāng)納米可以提供石墨烯膜的生長(zhǎng)培訓(xùn)。
吉倉(cāng)低溫石墨烯生長(zhǎng)系統(tǒng)配有Plasma實(shí)現(xiàn)等離子增強(qiáng),滑軌式設(shè)計(jì)在操作時(shí)可將實(shí)驗(yàn)需要的恒定高溫直接推到樣品處,使樣品能得到一個(gè)快速的升溫速度,同樣也可將高溫的管式爐直接推離樣品處,使樣品直接暴露在室溫環(huán)境下,得到快速的降溫速率。并可選配氣氛微調(diào)裝置,可準(zhǔn)確的控制反應(yīng)腔體內(nèi)部的氣體壓力,帶刻度的調(diào)節(jié)閥對(duì)于做低壓CVD非常簡(jiǎn)單實(shí)用,工藝重復(fù)性好,對(duì)于石墨烯生長(zhǎng)工藝非常合適,也同樣適用于要求快速升降溫的CVD實(shí)驗(yàn)。

開(kāi)啟式真空管式爐 JC-1200C-SL-PECVD
爐管尺寸:外徑φ100(可選)
加熱元件:電阻絲(Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo)
加熱區(qū)長(zhǎng)度:440mm
恒溫區(qū)長(zhǎng)度: 200mm(±1℃)
工作溫度:1100℃
最高溫度:1200℃
控溫方式:模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié),智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報(bào)警功能
控溫精度:±1℃
升溫速度:20度/分鐘
爐門(mén)結(jié)構(gòu):開(kāi)啟式
工作電源:AC220V /50HZ
額定功率:3KW
射頻電源
信號(hào)頻率 13.56 MHz±0.005%
功率輸出范圍 5W-500W
最大反射功率 200W
射頻輸出接口 50 Ω, N-type, female
功率穩(wěn)定度 ±0.1%
諧波分量 ≤-50dbc
供電電壓 單相交流(187V-253V) 頻率50/60HZ
整機(jī)效率 >=70%
功率因素 >=90%
冷卻方式 強(qiáng)制風(fēng)冷
壓力真空表:-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/

供氣系統(tǒng)(品牌: JCNO
GMF-3Z
連接頭類(lèi)型:雙卡套不銹鋼接頭。
標(biāo)準(zhǔn)量程(N2):50sccm(CH4)、200sccm(H2)、500sccm(Ar);
準(zhǔn)確度:±1.5%
線性:±0.5~1.5%
重復(fù)精度:±0.2%
響應(yīng)時(shí)間:氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec
工作壓差范圍:0.1~0.5 MPa
最大壓力:3MPa
接口:Φ6,1/4''mm
顯示:液晶觸摸屏控制,無(wú)紙記錄。
工作環(huán)境溫度:5~45高純氣體            
內(nèi)外雙拋衛(wèi)生級(jí)不銹鋼管:316L,Φ6mm
 
低真空機(jī)組(品牌: JCNOVAU-02
技術(shù)參數(shù):
空氣相對(duì)濕度≤85%,
工作電電壓:220V±10%  50~60HZ
功率:1千瓦
抽氣速率:4L\s
極限真空:4X10-2Pa
實(shí)驗(yàn)真空度:1.0X10-1Pa
容油量:1.1L
進(jìn)氣口口徑:KF25
排氣口口徑:KF25
轉(zhuǎn)速:1450rpm
噪音:50dB

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